真空退火爐即在爐腔這一特定空間內利用真空系統由真空泵、真空測量裝置、真空閥門等元件經過精心組裝而成、將爐腔內部分物質排出，使爐腔內壓強小于一個標準大氣壓，爐腔內空間從而實現真空狀態，這就是真空爐。

真空爐一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統、控溫系統和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。真空系統主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。